氣流質量傳感器工作原理

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氣流質量傳感器工作原理

發布日期：2020-01-11 作者：點擊：

氣體質量流量計采用氣流質量傳感器和壓力傳感器。氣流質量傳感器是基于流過傳感器氣流質量帶走的熱量正比于其輸出電壓的熱傳輸原理，壓力傳感器是氣體的壓力正比于輸出電壓，即將氣體質量流量和氣體壓力同時轉換成模擬信號輸出。

質量流量計零點不穩定形成零點漂移，影響其精確度的進一步提高，使得許多型號儀表只得采用將總誤差分為基本誤差和零點不穩定度量兩部分。科里奧利質量流量計不能用于測量低密度介質和低壓氣體；液體中含氣量超過。測量系統根據科氏力原理測量介質的質量流量?？剖狭κ俏矬w在旋轉系統中做直線運動時所受的力。 ·Δω 科氏力 Δ ω 角速度旋轉或振動時的徑向速度科氏力大小與運動物體的質量Δ 、速度成正比，即與介質的質量流量成正比。質量流量計用測量管的振。

該流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態時，在傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布。一旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。

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